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技術文章
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    半導體工廠氣體檢測儀
    型 號:PS-6AH
    品 牌:日本新宇宙
    技術指標:檢測半導體工廠各類氣體 
    昌吉半導體工廠氣體檢測儀-PS-6AH-日本新宇宙
    功能描述
    檢測原理: 定電位電解式,,熱線型半導體式,隔膜Galvanic電池式
    檢測氣體: SiH4,PH3,B2H6等
    采樣方式: 泵吸引式
    采樣管道: 特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm配管距離20m以內(nèi),但吸著性強的氣體最大配管距離為5m
    氣體濃度顯示: 0~9999LED顯示
    輸出信號: 4~20mA(與電源的負端共用)
    報警輸出: 第1段第2段都是開路集電極OFF
    適合電纜: KW~P3芯或4芯
    適用溫度: 0~40℃
    電源: DC24V±10%
    消耗電力: 約10W
    物理特性
    長度 198mm
    寬度 145mm
    高度 37mm
    重量 約2.7kg
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